硅片切割后的表面粘附严重的污垢,包括油脂、硅粉和金属离子等,硅片清洗剂目的就在于清除硅片表面所有的微粒、金属离子及有机物等沾污。本文通过从对脏污硅片的润湿性以及超声波清洗测试,认为FA-6 BP-8024非离子表面活性剂对硅片具有*的润湿性及清洗力,并具有较高的性价比,可用于硅片清洗中提高清洗剂的清洗力。
1.表活在硅片表面的润湿性测试
以非离子表面活性剂FA-6和NP-10作实验样品,配制0.1%浓度的表面活性剂水溶液,在有污渍的硅片表面各滴加1滴表活水溶液,观察其在硅片表面的扩散范围及扩散浓度。由图1明显看出,FA-6滴加在硅片表面后快速扩散至较大面积,而NP-10在硅片表面扩散范围很小,润湿性较差。因此,FA-6在硅片表面的润湿性明显优于NP-10。
图 1 硅片表面润湿性对比图
2.硅片清洗测试
配制相同浓度的NP-10及FA-6的水溶液,与硅片清洗的碱剂一起复配清洗。清洗剂超声波3 min后,用纯水漂洗干净后风干,测试结果如图2所示。复配FA-6的清洗剂可将硅片表面的硅粉、油污等完全清洗干净,而复配NP-10的还残留较多硅粉没有去除。
图 2 硅片清洗测试结果
3.总结
FA-6 BP-8024非离子表活复配于硅片清洗剂中可明显提高清洗剂的清洗力,加快硅片的清洗速率,不损伤硅片,并具有低泡、环保特点。
扫一扫微信聊
电话咨询
扫一扫